Hệ thống lưu trữ DUCO

Giới thiệu ứng dụng

Lưu trữ và quản lý vật liệu tự động tại sản xuất chất bán dẫn

Áp dụng cho :

1. Lưu trữ mật độ cao, tận dụng không gian cao, tận dụng tối đa không gian chiều cao

2. Nhịp nhanh

3. Tích hợp vào hệ thống quản lý vật liệu sàn nhà máy

4. Thực hiện nhanh chóng, kiểm tra trình độ giảng dạy tự động

5. Tương thích với ARV/OHT/OHS/thủ công và các quy trình tự động khác

6. Tuân thủ các tiêu chuẩn Phòng sạch ISO14644-14, Tiêu chuẩn SEMI S2 và ESD

Giới thiệu chức năng

*Nó được sử dụng để lưu trữ trực tuyến chất bán dẫn, hỗ trợ FOUP, CASSETTE, Tạp chí, Khay và các loại khác

*Có thể gắn với ARV, hỗ trợ bốc dỡ thủ công

*Tuân thủ các tiêu chuẩn Phòng sạch ISO14644-14, Tiêu chuẩn SEMI S2 và ESD

*Giao diện phần mềm SEMI tiêu chuẩn

* Thiết kế mô-đun