Giới thiệu ứng dụng
*Xử lý vật liệu tự động ở các cạnh dây bán dẫn
*Thích hợp cho các quy trình có chu kỳ sản xuất lỏng lẻo
*Thích hợp cho các tình huống dòng nguyên liệu riêng lẻ
* Nó phù hợp với dòng người trên mặt đất và xử lý vật liệu mà không bị hạn chế
*Thích hợp cho các thiết bị sàn xưởng không cố định và hỗ trợ thay đổi bố cục
*Áp dụng cho bài kiểm tra wafer BG WS DB WB Final TEST
*Tuân thủ tiêu chuẩn Phòng sạch ISO14644-14 、 Tiêu chuẩn SEMI S2 và tiêu chuẩn ESD
Hệ thống sạc
Trạm pin đơn
Số lượng lưu trữ | 1/2 thùng + 1 thùng đựng tiền lẻ |
Lớp sạch | lớp 1K |
Hệ thống điều khiển | PLC |
Hệ thống dữ liệu | BCMS (tùy chọn) |
Thời gian thay pin | 3 phút |
Trạm pin
Số lượng lưu trữ | ≥5 thùng |
Lớp sạch | lớp 1K |
Hệ thống điều khiển | PLC |
Hệ thống dữ liệu | BCMS |
Thời gian thay pin | 4 phút |
Hệ thống quản lý pin
Giới thiệu ứng dụng
*Xử lý vật liệu tự động trong sản xuất chất bán dẫn
*Nó phù hợp với thời gian chu kỳ ngắn và nhiều tình huống sản xuất kết hợp
* Nó phù hợp để xử lý từng điểm với khối lượng lớn, trọng lượng nặng và độ chính xác lắp ghép thấp
*Thích hợp cho LÒ NƯỚNG, Lò đốt, Giỏ giá, hộp đựng
*Tuân thủ các tiêu chuẩn Phòng sạch ISO14644-14, Tiêu chuẩn SEMI S2 và ESD
Ứng dụng
Đánh bóng và vận chuyển wafer
Tải và dỡ hàng SMT MGZ
Tải và dỡ hàng LÒ
E-rack trung chuyển
Khối4. Số 358 Đường Jinhu, Quận Phố Đông, Thượng Hải, Trung Quốc